ईसी वैक्यूम फ़ीड के माध्यम से - तकनीकी अवलोकन

इंजीनियरिंग सेरामिक्स इंक (ईसी © ™) रिपोर्ट:

चुनाव आयोगवैक्यूम फीडथ्रू- तकनीकी सारांश

ईसी उच्च प्रदर्शन वैक्यूम फीडथ्रू में माहिर है जैसे:

✔ अल्ट्रा हाई वोल्टेज इन्सुलेशन के लिए सिरेमिक इन्सुलेटर (Al₂o₃/ALN)

✔ वैक्यूम ब्रेज़िंग तकनीक (लीक दर <10⁻⁹ mbar · l/s)

✔ टर्बो आणविक पंप/आयन पंपों के लिए एयरटाइट सीलिंग (UHV/XHV संगत)

✔ सेमीकंडक्टर, एयरोस्पेस और अनुसंधान अनुप्रयोगों के लिए कस्टम कॉन्फ़िगरेशन

तालिका 1: ऑपरेटिंग सिद्धांत के आधार पर वर्गीकरण

प्रकार	प्रचालन -सिद्धांत	अंतिम वैक्यूम (पीए)	मुख्य विशेषताएं	मुख्य उपयोग
रोटरी वेन पंप	एक घूर्णन वैन के साथ संक्रमण	1e-1 ~ 1e2	तेल सील प्रकार, रखरखाव की आवश्यकता है	फोरलाइन/बैक पंप
सूखी स्क्रॉल पंप	कक्षीय सर्पिल द्वारा गैस संपीड़न	1e-2 ~ 1e1	तेल मुक्त, कम कंपन	प्रयोगशाला उपस्कर
रूट्स ब्लोअर	काउंटर रोटेटिंग लोब का उपयोग करके गैस परिवहन	1e-1 ~ 1e3	उच्च थ्रूपुट, अक्सर बहु-स्तरीय	औद्योगिक वैक्यूम तंत्र
तेल प्रसार पंप	स्टीम जेट गति द्वारा स्थानांतरण	1E-7 ~ 1E-4	कोई चलती भागों, ठंड के जाल की आवश्यकता नहीं है	ई-बीम बयान
टर्बो आणविक पंप	हाई-स्पीड रोटर (> 60k आरपीएम) अणुओं से टकराता है	1E-9 ~ 1E-6	स्वच्छता, कंपन संवेदनशील	यूएचवी विज्ञान मशीन
क्रायोजेनिक पंप	<20k सतहों पर गैस संक्षेपण	<1e-10	अधिकतम वैक्यूम और नियमित पुनर्जनन आवश्यक	अंतरिक्ष पर्यावरण अनुकरण

तालिका 2: वैक्यूम स्तर द्वारा वर्गीकरण

वैक्यूम रेंज	दबाव (पा)	इष्टतम पंप प्रकार	तकनीकी विचार
मोटा वैक्यूम	1e5 ~ 1e2	रोटरी वेन, डायाफ्राम	गैस गिट्टी के साथ उच्च दबाव समर्थन
कम वैक्यूम	1e2 ~ 1e-1	रूट्स + रोटरी वेन	गति बनाम बिजली दक्षता
उच्च वैक्यूम	1E-1 ~ 1E-7	प्रसार,	बैकस्ट्रीम रोकथाम
अल्ट्रा-हाई वैक्यूम (यूएचवी)	1E-7 ~ 1E-10	आयन, क्रायोपम्प	सामग्री चयन महत्वपूर्ण है
अत्यधिक उच्च वैक्यूम	<1e-10	हाइब्रिड आयन-क्रायोसिस्टम	मात्रा स्तर का वातावरण

वैक्यूम पंप चयन मार्गदर्शिका

प्रमुख चयन मानदंड

1। अंतिम वैक्यूम स्तर

आवश्यक वैक्यूम स्तर को प्रक्रिया विनिर्देशों को पूरा करना चाहिए। उदाहरण के लिए:

- सेमीकंडक्टर विनिर्माण में, 10⁻⁶ पीए से नीचे वैक्यूम का स्तर आमतौर पर आवश्यक होता है।

- औद्योगिक प्रक्रियाओं में, यह 10 and से 10 the की सीमा में प्रभावी ढंग से काम कर सकता है      

2। पंपिंग गति

लीटर प्रति सेकंड (एल/एस) या क्यूबिक मीटर प्रति घंटे (m (/h) में मापा जाता है   

अपनी चैम्बर क्षमता और गैस लोड के लिए सही आकार चुनें   

उच्च-थ्रूपुट अनुप्रयोग (जैसे वैक्यूम भट्टियां) को 1,000+ m g/h की आवश्यकता हो सकती है

3। गैस और रासायनिक अनुकूलता

- मानक उपयोग: मानक सामग्री (स्टेनलेस स्टील, एल्यूमीनियम)

- संक्षारक वातावरण: विशेष सामग्री की आवश्यकता है, उदाहरण के लिए:  

- PTFE कोटिंग भागों (एसिड प्रतिरोधी के लिए)  

- हेस्टेलॉय या निकल मिश्र धातु (क्लोरीन जैसे शक्तिशाली रसायनों के लिए)

4। ऊर्जा दक्षता और रखरखाव

- तेल सील पंप:  

- कम प्रारंभिक लागत    

- नियमित तेल परिवर्तन की आवश्यकता होती है (प्रत्येक 2,000 से 4,000 घंटे)

- संवेदनशील प्रक्रियाओं के माध्यम से तेल संदूषण का जोखिम  

- सूखा (तेल मुक्त) पंप:  

- उच्च प्रारंभिक निवेश    

- कोई रखरखाव आवश्यक (कोई तेल परिवर्तन नहीं)  

- स्वच्छ प्रक्रियाओं के लिए अनुशंसित (जैसे दवाएं, भोजन)

इस पाठ में शामिल मुख्य शब्दावली इस प्रकार है:

1। वैक्यूम सील - एक वैक्यूम सील, फिंगर वैक्यूम सीलिंग तकनीक, और वैक्यूम फीडथ्रू प्रभावी (सीलिंग कनेक्शन) हैं।

2। थ्रू-थ्रू पार्ट (かんつうぶ) के माध्यम से-थ्रू-थ्रू भाग, आम तौर पर उन भागों को संदर्भित करता है जो दीवारों या विभाजन से गुजरते हैं, और कभी-कभी वैक्यूम के समान संरचनाओं का वर्णन करने के लिए उपयोग किया जाता है।

3। फरानजी - निकला हुआ किनारा, आमतौर पर वैक्यूम सिस्टम कनेक्शन घटकों में उपयोग किया जाता है, वैक्यूम से संबंधित हार्डवेयर इस शब्द को शामिल कर सकते हैं।

4। वैक्यूम कनेक्टर - वैक्यूम कनेक्टर, अंडर -एयर वैक्यूम कनेक्टर, और फीडथ्रू तक पहुंचने की क्षमता।

5। इन्सुलेशन पैठ - वैक्यूम फीडथ्रू के दौरान प्रदर्शन करने की क्षमता।

ये शब्द पूरी तरह से "वैक्यूम फीडथ्रू" के बराबर नहीं हैं, लेकिन कुछ परिस्थितियों में अनुमान या संबंधित शब्दों के रूप में उपयोग किए जा सकते हैं। किस भाषा का उपयोग करना है, तकनीकी विवरण और उद्योग मानदंडों पर निर्भर करता है, इसलिए यह अनुशंसा की जाती है कि आप प्रासंगिक विशेषज्ञ साहित्य का उल्लेख करें या सटीकता सुनिश्चित करने के लिए एक विशेषज्ञ से परामर्श करें।

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