इंजीनियरिंग सिरेमिक कं, (EC © ™) रिपोर्ट:
ईसी वैक्यूम फीडथ्रू - तकनीकी अवलोकन
ईसी उच्च प्रदर्शन वाले वैक्यूम फीडथ्रू में माहिर है:
✔ सिरेमिक इंसुलेटरअल्ट्रा-हाई वोल्टेज अलगाव के लिए (al₂o₃/aln)
✔ वैक्यूम ब्रेज़िंग तकनीक (लीक दर <10⁻⁹ mbar · l/s)
✔ टर्बोमोलेक्यूलर/आयन पंपों के लिए हर्मेटिक सीलिंग (UHV/XHV संगत)
✔ अर्धचालक, एयरोस्पेस और अनुसंधान अनुप्रयोगों के लिए कस्टम कॉन्फ़िगरेशन
तालिका 1: कार्य सिद्धांत द्वारा वर्गीकरण
तालिका 2: वैक्यूम स्तर द्वारा वर्गीकरण
प्रमुख चयन मानदंड
1. अलग -अलग वैक्यूम स्तर
आवश्यक वैक्यूम स्तर को प्रक्रिया विनिर्देशों के साथ संरेखित करना चाहिए। उदाहरण के लिए:अर्धचालक विनिर्माणआमतौर पर 10⁻⁶ पीए औद्योगिक प्रक्रियाओं से नीचे के वैक्यूम के स्तर की आवश्यकता होती है जो 10⁻ से 10 was पीए रेंज में प्रभावी रूप से संचालित हो सकती है
2. पंपिंग गति
में मापा गयालीटर प्रति सेकंड(L/s) याक्यूबिक मीटर प्रति घंटे(m the/h) चैम्बर वॉल्यूम और गैस लोड उच्च-थ्रूपुट अनुप्रयोगों (जैसे, वैक्यूम भट्टियों) के लिए उचित रूप से आकार का होना चाहिए।
3. जीएएस और रासायनिक संगतता
● मानक अनुप्रयोग:मानक सामग्री (स्टेनलेस स्टील, एल्यूमीनियम)
● संक्षारक वातावरण:विशेष सामग्री की आवश्यकता है जैसे:
● PTFE- लेपित घटक (एसिड प्रतिरोध के लिए)
● हेस्टेलॉय या निकल मिश्र धातु (क्लोरीन जैसे आक्रामक रसायन विज्ञान के लिए)
4. सेवा दक्षता और रखरखाव
तेल-सील पंप:
● कम प्रारंभिक लागत
● नियमित तेल परिवर्तन की आवश्यकता होती है (हर 2,000-4,000 घंटे)
● संवेदनशील प्रक्रियाओं में तेल संदूषण का जोखिम
सूखा (तेल मुक्त) पंप:
● उच्च प्रारंभिक निवेश
● रखरखाव-मुक्त संचालन (कोई तेल परिवर्तन नहीं)
● स्वच्छ प्रक्रियाओं के लिए पसंद किया गया (जैसे, फार्मास्यूटिकल्स, भोजन)
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